本实用新型涉及一种槽式
电化学沉积用药液添加装置,它包括:加液桶,所述加液桶内设置有液位计;进液管路,所述进液管路的出口连接在所述加液桶底部;出液管路,所述出液管路的进口连接在所述加液桶底部,所述出液管路中设置有气动阀,所述气动阀的出液端设置有节流片。由于进液管路连接在加液桶底部,因此加液时不会冲液液面,不会影响液位计测量液位;且气动阀的出端液设置有节流片,小流量补加进入槽体,可避免气动阀直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加,造成补加不准的问题。因此,提高了药液加液精度。
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