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硅微通道电化学腐蚀试验装置

707   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
本实用新型公开了一种硅微通道电化学腐蚀试验装置，包括带有HF腐蚀液的电解槽、恒电位仪以及阵列式LED灯，所述电解槽内设有与n型硅电极相插接的第一插接槽、与饱和甘汞电极相插接的第二插接槽以及与铂电极相插接的第三插接槽，所述n型硅电极、饱和甘汞电极以及铂电极分别通过导线与恒电位仪电性连接，所述电解槽内固定设有两个与蓄电池电性连接的加热电阻器，所述阵列式LED灯设于电解槽的左侧且正对于第一插接槽，所述n型硅电极的右端插接于第一插接槽内，且n型硅电极的左端裸露于电解槽的左端且正对于阵列式LED灯。本实用新型便于对各个电极进行固定定位，操作简单，使得测量的结果更精准，增加实验的成效。
声明：
“硅微通道电化学腐蚀试验装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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