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高可靠氢敏化学传感器

744   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
高可靠氢敏化学传感器是一种用于测试溶液 pH值的传感器，采用在N型硅补底上制作场效应管 的结构，其介质采用双层结构的氢敏感薄膜，源、漏区 的金属电极在衬底背面引出，背面金属电极与源、漏 之间由利用铝热迁移形成的P+型通道实现电连接， 它可采用常规的半导体平面工艺实现，具有工艺简 单、制作简便、成品率和可靠性高等特点。
声明：
“高可靠氢敏化学传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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