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用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法

667   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
本发明公开了一种用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法，包括如下步骤：1)将装有次磷酸钠的陶瓷舟和过渡金属的氢氧化物前驱体纳米件一并放到腔体内石墨台上，关闭所述腔体并对所述腔体抽真空；2)向所述腔体通入氮气，调节微波功率，以生成氮等离子体和磷化氢等离子体；3)调节所述氮气的流量，使腔内气压保持在15torr～23torr范围内，待上述的等离子体状态稳定并包裹上述的样品反应0.5min～3min后，结束反应，关闭微波源；4)待所述腔体冷却，取出样品，即得到过渡金属磷化物。本发明制备的过渡金属磷化物纳米粒子粒径小，结晶度高，这提高了其催化性能和可靠性能，利于催化领域的测试与表征，利于研究其电催化特性。
声明：
“用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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