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微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置

973   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:19
本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置，包括微波源和反应沉积室，所述微波源与波导相连接，所述波导上设有模式转换器，所述模式转换器的下方设有圆柱形型腔，所述圆柱形型腔的下方安装有反应沉积室，所述反应沉积室的顶端设有石英微波窗，所述反应沉积室的侧壁上从上到下依次开设有进气口和观察窗口，所述反应沉积室的侧壁上开设有与测温仪相连接的测温孔，所述反应沉积室内设有沉积台，所述沉积台上方设有微波等离子体球，所述反应沉积室与真空泵相连接。本实用新型通过设置圆柱形型腔和半椭球形石英微波窗，可使得激发等离子体位置稳定、密度高，不仅提高了金刚石膜的沉积效率，还降低了合成成本。
声明：
“微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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