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强电流直流电弧等离子体化学气相沉积装置

701   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:29
本实用新型提供了一种强电流直流电弧等离子体化学气相沉积装置,由阴极部分、阳极、真空室、真空泵系统、压力测控装置、直流电弧弧柱、制品架、电源、磁场线圈组成;阴极部分(1)和阳极(8)处于圆桶状真空室(2)轴线的两端;一对磁场线圈(12)、(13)同轴地处于真空室(2)外的上下两侧;真空室(2)与真空泵系统(3)、压力测控装置(4)由真空管路相连接。阴极部分(1)由阴极杆(6)、阴极体(7)、保护气体通道体(14)、反应气体通道体(15)以及绝缘体(17)、(18)所组成;在保护气体通道体(14)、反应气体通道体(15)的下方是阴极喷口(16)。本实用新型的优点在于:寿命与结构稳定性将可获得大幅度的改善并可靠性提高。
声明：
“强电流直流电弧等离子体化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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