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使用配体交换耐蚀金属有机前体溶液的化学气相沉积过程的流出物的消除

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
用于消除通过CVD过程,例如,用于在衬底上形成钛酸锶钡(BST)薄膜的金属有机化学气相沉积过程(MOCVD)沉积多组分金属氧化物所产生的流出物的装置和方法,该CVD过程使用含有至少一种金属配位络合物和用于溶解该金属配位络合物的适当溶剂介质的金属源试剂液体溶液,所述的金属配位络合物包含在稳定络合物中与至少一个配体配位结合的金属。对流出物进行吸附处理,以除去流出物中的前体物和MOCVD过程的副产物。可以使用末端监测器(62),如石英微量天平监测器监测吸附处理装置中开始漏出的情况。
声明：
“使用配体交换耐蚀金属有机前体溶液的化学气相沉积过程的流出物的消除” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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