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热丝化学气相沉积系统

754   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
本申请公开了一种热丝化学气相沉积系统，属于金刚石薄膜制备领域，其包括气相沉积装置、热辐射测温仪和安装支架，气相沉积装置包括反应腔室、热丝架以及衬底，反应腔室上开设有观察窗，热辐射测温仪的探头发射的辐射线透过观察窗照射于反应腔室内，安装支架包括连接杆、球头杆和转动座，连接杆的一端连接反应腔室，另一端连接球头杆一端的球体，转动座的一端形成中空腔体，球体转动地设置在中空腔体内，转动座的另一端连接热辐射测温仪，从而热辐射测温仪的探头能够绕着球体的球心在球体的周面上转动，实现辐射线在反应腔室内移动，方便使用者测量衬底表面和热丝架的热丝表面的各个位置的温度，减小了测温盲区。
声明：
“热丝化学气相沉积系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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