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化学机械研磨时间控制方法

707   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
本发明公开了一种化学机械研磨时间控制方法,包括以下步骤:建立光片速率的均值规格;测试机台光片的研磨速率;测量晶圆膜厚前值;测试光片有台阶差和无台阶差时的速率;计算比较因子;测量第一个需要研磨产品的膜厚前值和台阶高度;计算第一个产品需要研磨的时间,进行研磨;测量第一个产品膜厚后值,判断膜厚后值是否超规格;计算第二个产品所需要的研磨时间,研磨后判断膜厚后值是否超规格;计算第N个产品所需要的研磨时间,研磨后判断膜厚后值是否超规格。本发明通过预估和修正新产品的研磨时间,减少生产线上做试生产的频率,降低人工成本,提高设备的利用率,提高生产效率。
声明：
“化学机械研磨时间控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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