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化学气相淀积装置及其调节方法

958   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明提供了一种化学气相淀积装置，包括反应器及多个进气管，所述进气管的进气端位于所述反应器外并连接一供气设备，出气端位于所述反应器内且能够伸长或缩短，至少两个所述进气管的出气端在竖直方向上位于所述反应器的不同位置处。通过调整所述进气管的出气端在所述反应器内的位置以调整所述反应器内的反应气体的分布，降低反应器内各处的反应气体浓度差，从而使同一批次的晶圆上淀积的薄膜一致性更好。基于此，本发明还提供了一种所述化学气相淀积装置的调节方法，根据测试晶圆所处的位置及淀积的薄膜厚度绘制关系模型，并通过关系模型获取反应器内各处反应气体的浓度，然后精细化地调整进气管出气端的位置以降低反应气体的浓度差。
声明：
“化学气相淀积装置及其调节方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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