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应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具及校准方法

898   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明公开了一种应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具及校准方法，包括固定环，所述固定环内侧壁上开设有环形槽，环形槽内活动连接有转动环，转动环的内壁固接有固定滑轨，固定滑轨上滑动有调节滑块，调节滑块上螺纹连接有调节螺栓，调节滑块的底部设有两个卡扣机构并通过两个卡扣机构可拆卸安装有高度表，此应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具，区别于现有技术，对高度表拆装方便，转动环可带动固定滑轨旋转，同时移动调节滑块处于固定滑轨上的位置，从而可以测量加热器插销中间任意点的数据以及加热器插销在腔体内的高度，减少破片以及停机时间，校准加热器插销高度，可以计算加热器插销中心点与四边点的水平差值。
声明：
“应用于化学气相沉积设备的插销高度校准工具及校准方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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