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化学气相沉积气体导流机构

988   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
一种化学气相沉积气体导流机构,涉及化学气相沉积设备技术领域,包括布气筒、上盖、进气管、支撑件、安装板、安装管、安装柱和分流罩;布气筒为底端封闭的圆筒结构,布气筒底部均匀设置有多个出气孔;上盖设置在布气筒上端;进气管设置在上盖上,进气管与布气筒连通,进气管位于上盖中部;支撑件设置在布气筒内壁上,支撑件为上下开口且中空的圆台结构,支撑件上均匀设置有多个第一通孔;安装板设在支撑件上端面,安装板上设置有多个第二通孔;安装管设置在安装板上,安装管位于进气管下方;安装柱卡接在安装管内;分流罩设置在安装柱上端。本实用新型使得膜厚测试更为简单方便,制作成本低,降低了气流大小不均匀对气体沉积膜厚度造成的影响。
声明:
“化学气相沉积气体导流机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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