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化学气相淀积反应器及反应腔

1053   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:16
本实用新型揭示了一种用于化学气相淀积反应器及其反应腔。其中,加热装置由若干单独测控的扇形加热单元组成,在所述扇形加热单元之间可以放置衬底载盘支撑或反应腔顶盖支撑。所述加热装置具有结构简单,操作与维修方便,制造和使用成本低等优点,适用于大直径化学气相淀积反应器反应腔中加热环形或圆形或由若干扇形衬底载盘单元组成的环形或圆形衬底载盘。
声明：
“化学气相淀积反应器及反应腔” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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