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用于自由基气体和短时间存活分子的多传感器气体取样检测系统和使用方法

624   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
本申请案是针对用于检测和测量自由基气体流中的自由基的多传感器气体取样检测系统和方法且包含与至少一个气体源连通的至少一个自由基气体生成器。所述自由基气体生成器可经配置以生成可在处理腔室内使用的至少一个自由基气体流。因此，所述处理腔室与所述自由基气体生成器成流体连通。与所述自由基气体生成器成流体连通的至少一个分析电路可用于所述检测和测量系统中。分析可经配置以接收经界定体积和/或流速的所述自由基气体流。在一个实施例中，所述分析电路可经配置以使至少一个试剂与所述经界定体积的所述自由基气体流内的自由基进行反应，从而形成至少一个化合物流内的至少一个化学物质。所述分析电路内的至少一个传感器模块可经配置以测量所述化合物流内的所述化学物质的浓度。一或多个流量测量模块可与所述传感器模块成流体连通。在使用期间，所述流量测量模块可经配置以测量所述化合物流和自由基气体流中的至少一个的体积。
声明：
“用于自由基气体和短时间存活分子的多传感器气体取样检测系统和使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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