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化学机械基板研磨装置

1052   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
公开一种化学机械基板研磨装置，其可以用互不相同的温度对多个研磨平板进行控制。化学机械基板研磨装置包括：多个研磨平板，其包括研磨垫，所述研磨垫用于基板的研磨；多个基板载体，其设置于所述各个研磨平板，并且以与所述各个研磨垫相接触的形式抓握所述基板；多个调节器，其设置于所述各个研磨平板上部，并对所述各个研磨垫进行微切削；多个温度测量部，其对所述各个研磨垫的温度进行测量；温度调节部，其对所述各个研磨垫的温度进行调节；以及控制部，其将设置于所述多个研磨平板的研磨垫的温度控制为互不相同。
声明：
“化学机械基板研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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