本发明提供一种摩擦辅助
电化学沉积技术的优化装置及其优化方法,优化装置包括:环形压力板、阴极、电铸槽、阳极、游离粒子,环形压力板放置于游离粒子区域上方,阴极沉积工作面与游离粒子紧贴,阳极与游离粒子紧贴,整个电沉积部分置于电铸槽内并浸没于电铸液中,本发明涉及电铸领域,通过对游离粒子加压实现对摩擦辅助电化学沉积技术的优化,另外还公开了一种对摩擦辅助加压作用的质量预测和评估的优化方法,改善了摩擦辅助电化学沉积技术的现有缺陷,进一步提高了摩擦辅助技术的电铸质量。
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“摩擦辅助电化学沉积技术的优化装置及其优化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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