本发明属于抛光装备技术领域,且公开了一种小型球舱磁力复杂曲面化学机械抛光机及加工方法。本发明基于化学机械抛光原理,通过磁场旋转和球舱旋转以及化学腐蚀耦合作用,实现对小型复杂曲面零件的精密抛光,其包括包括箱体、球舱、上包围体、下包围体、升降装置、冷却装置、皮带轮和红外测温仪。箱体用于放置球舱和其他装置,球舱为圆球形球壳结构,用于容纳工件,上包围体与下包围体结构完全一致,用于提供磁力,升降装置用于控制下包围体的升降便于倒出物料,冷却装置用于对球舱进行控温,皮带轮用于传输动力,红外测温仪用于实时监测球舱的温度。本发明可以实现复杂曲面零件的精密抛光,可以同时批量处理不同形状的复杂表面,通用性强。抛光过程全封闭,不会产生粉尘、噪音等污染,对人体无潜在伤害。
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