一种化学液体稀释控制系统包括流体供应装置用以提供流体,且对于流体施加第一压力;溶剂供应装置用以提供溶剂;混合装置连接且连通于流体供应装置及溶剂供应装置,使流体与溶剂于混合装置内混合成为稀释的化学液体;第一输送管路连接且连通于混合装置,用以输送化学液体;第一参数测量单元设置于第一输送管路上,且用以测量化学液体的参数。当化学液体的参数数值未介于化学液体的预设参数范围内时,第一参数测量单元发出第一控制信号至流体供应装置,对于流体施加不同于第一压力的第二压力,以使化学液体的参数数值往预设参数范围变动,藉以调控参数数值位于预设参数范围。
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