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化学品分配系统

688   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:49
一种化学品分配系统能够通过使用独立的化学品供应管线同时供应用于生产及测试的半导体处理化学品，这会减少相关联半导体工艺的生产停工时间，增加半导体工艺的生产量及能力，和/或类似情况。此外，同时供应用于生产及测试的半导体处理化学品的能力允许在对生产的冲击最小的情况下增加要测试的半导体处理化学品批次的数量，这会增加对半导体处理化学品的品质控制。此外，独立的化学品供应管线可用于在通过过滤回路独立地过滤直接来自存储筒的半导体处理化学品的同时为生产供应半导体处理化学品。
声明：
“化学品分配系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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