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化学机械平坦化系统以及方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:49
本公开一些实施例中提供一种化学机械平坦化系统。化学机械平坦化系统包括一垫、一平台、一泵以及一感测器。垫包括一第一侧以及与第一侧相对的一第二侧，其中第一侧是配置以在一化学机械平坦化制程期间接收一晶圆。平台沿着第二侧相邻于垫，其中平台包括一抽吸开口，且抽吸开口与第二侧接合。泵被配置以在抽吸开口处产生吸力，以将第二侧附着至平台。感测器是配置以收集一感测器数据，且感测器数据表征垫以及平台之间的一附着均匀性，其中泵是配置以基于感测器数据，在抽吸开口处产生吸力。本公开还涉及一种化学机械平坦化方法。
声明：
“化学机械平坦化系统以及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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