本发明是有关一种化学桶槽气氛保持装置及其方法。该化学桶槽气氛保持装置,包含:一氮气预湿器、一温度感测器、一化学桶槽、一湿度感测器及一控制器。该化学桶槽气氛保持方法,包含:利用氮气及溶液进入氮气预湿器,经由出口、水气分离器将带有湿气氮气与纯水气分离,再将带有湿气氮气导入第三入口至化学桶槽内,使氮气含有水气,维持化学桶槽内特定温度与湿度;利用加热板温度升高时将氮气增加含水量,经由出口、第三入口至化学桶槽内,使氮气含有水气;利用温度感测器的量测温度,经由控制器加以控制,以调整加热板的作动。本发明可达成化学桶槽内相对温度及湿度的气氛平衡,可减少化学桶槽内化学物质在桶槽壁上产生结晶现象,并能维持化学物质的稳定性。
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