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化学机械研磨制程及增加其研磨终点准确性的方法

1065   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:47
一种增加化学机械研磨制程的研磨终点准确性的方法,此方法是在化学机械研磨制程之前进行。首先提供一测试片,测试片上已形成有待研磨层以及位于待研磨层下方的材料层。接着提供具有一波长的测试光束,照射测试片。对测试片进行化学机械研磨制程,移除待研磨层,直到暴露出材料层为止,并且同时持续侦测测试光束在研磨制程中的反射强度。然后,判断待研磨层即将完全移除,而越接近待研磨层与材料层之间的介面的这时期的反射强度趋势。若是反射强度有逐渐下降的趋势,则以具有此波长的测试光束,用于后续的研磨制程中。
声明：
“化学机械研磨制程及增加其研磨终点准确性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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