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微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:44
一种微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统，包括机架和升降放取机构，升降放取机构包括支撑座及置于支撑座上的支撑底板，且支撑底板与支撑座沿水平方向滑动配合；支撑底板上方还设有用于放置沉积物的石英钟罩，实现石英钟罩伴随支撑底板在竖直方向上的升降；机架上还设有用于检测石英钟罩位置的定位装置。该微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统，通过升降放取机构、支撑座以及与支撑座水平滑动配合的支撑底板的结构布设，使放样、取样过程中操作空间不再受限制，放样、取样过程简单无妨碍，可有效的避免由于操作空间有限而导致损坏石英钟罩情况的发生。
声明：
“微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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