本发明公开了一种螺旋微电极
电化学加工系统及方法,将加工电极设置于电主轴前端并校直,加工电极与阴极金属圆环分别与直流电源正负极相连接;控制电主轴带动加工电极运动,使其穿过阴极金属环至一定距离,进行对刀,使阳极工件处于金属环中心,并滴加电解液使其在金属环上形成液膜;控制电主轴旋转,带动其前端的加工电极高转速旋转;接通电源,检测电流信号,反馈给控制系统,控制直流电源的电压大小,保证电流密度在一定范围,保证电极表面出现螺旋槽,并进行电化学抛光。本发明方法工艺简单,刻蚀过程中不需要进给,螺旋沟槽一次成形。
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