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集成电路芯片制造中化学品取样保护装置

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:00
一种集成电路芯片制造中化学品取样保护装置，包括支撑框、抽气过滤装置、透明隔离帘和滚轮，所述支撑框为由若干根型材搭建的长方体框架结构，于所述支撑框的顶部设置抽气过滤装置，所述抽气过滤装置覆盖由所述支撑框的型材围成的顶面，且所述抽气过滤装置的进气口朝向所述支撑框外部，所述抽气过滤装置的出气口朝向所述支撑框内部，于所述支撑框上设置竖直下垂的透明隔离帘，所述透明隔离帘覆盖由所述支撑框的型材围成的侧面，于所述支撑框的底部设置滚轮。该取样保护装置将取样的化学品与厂房内的空气进行隔离，保证取样出来的化学品不被污染，以便金属离子检测的精准性。
声明：
“集成电路芯片制造中化学品取样保护装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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