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基于磁流体反馈的MEMS电化学角加速度传感器及方法

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:48
本发明提供一种基于磁流体反馈的MEMS电化学角加速度传感器，包括：外壳(100)，呈圆柱环形状，该圆柱环内部设有电解液(203)；敏感核心(200)，包括至少两对相同的阳极(201)和阴极(202)，至少部分设于电解液(203)中，用于检测转动信号并使之转化为电流输出信号；反馈核心，包括至少一对反馈电极(301)和至少一对磁铁(302)，反馈电极(301)至少部分设于电解液(203)中，磁铁(302)位于外壳(100)的上表面和下表面；用于根据输出信号产生反馈力，形成负反馈系统。本发明MEMS电化学角加速度传感器既能保证大幅度地拓展电化学检波器的频带范围，又能保证传感器输出的稳定性以及减小线性失真度。
声明：
“基于磁流体反馈的MEMS电化学角加速度传感器及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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