合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液

集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液

1036   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:22
本发明涉及一种用于集成电路多层互连结构铜/钽化学机械抛光(CMP)的一步抛光工艺技术及相应纳米抛光液。对于互连结构的铜/钽多层膜体系的化学机械抛光,通过本发明的“一步抛光工艺”,单头抛光机能够代替昂贵的多头抛光机,实现多层膜的分步抛光。通过化学机械抛光过程中多层膜体系界面间在线检测信号(声学、力学、电学或光学信号)差异的反馈,对抛光液实施分段应用,有效改善了原有的单一抛光液或分步抛光中存在的低速率及选择性问题。该抛光工艺及相应纳米抛光液有效改善了单一抛光液的速率问题;以单头抛光机代替多头抛光机,降低了设备成本;同时抛光后表面损伤少、易清洗,抛光液不腐蚀设备、不污染环境。
声明：
“集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：基于定量核磁构建中药化学标准物质库的核磁共振器
下一个：装有气体传感器的电化学气室

与 “集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液” 相关技术

▪ 钒钛磁铁矿高效深度碎磨的方法和装置
▪ 球磨机大容量钢球自动配球、添加系统
▪ 有色金属矿开采用选矿设备
▪ 清华大学Angew. Chem. Int. Ed.：超高稳定性锌空气电池催化剂制备
▪ 中科院金属所《JMST》：通过纳米化和可控退火技术提高高镁铝镁合金的强度和抗应力腐蚀开裂性能
▪ 冶金炉耐火砖的拆除方法分析
▪ 矿山岩巷掘进周边控制爆破影响因素及参数优化研究
▪ 矿山开采沉陷中测绘新技术的运用分析
▪ 连续加料生产铜杆的连铸装置及方法
▪ 超薄铜板带边缘裂纹消除方法

相关化学分析设备推荐

脚踏劈裂式土壤采样器
7合1土壤变送器 土壤监测仪
土壤水分监测仪
直推式土壤取样钻机
北京美泰超声波测厚仪MT160
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钒钛磁铁矿高效深度碎磨的方法和装置
▪球磨机大容量钢球自动配球、添加系统
▪有色金属矿开采用选矿设备
▪清华大学Angew. Chem. Int. Ed.：超高稳定性锌空气电池催化剂制备
▪中科院金属所《JMST》：通过纳米化和可控退火技术提高高镁铝镁合金的强度和抗应力腐蚀开裂性能
▪冶金炉耐火砖的拆除方法分析
▪矿山岩巷掘进周边控制爆破影响因素及参数优化研究
▪矿山开采沉陷中测绘新技术的运用分析
▪连续加料生产铜杆的连铸装置及方法
▪超薄铜板带边缘裂纹消除方法

报名参会
更多+

第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记