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晶圆化学镍自动添加控制系统

967   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:22
本实用新型公开了一种晶圆化学镍自动添加控制系统，包括取样冷却预处理单元，取样测量单元、电器控制单元以及定量添加单元，通过取样泵将化学镀镍槽中的药液泵入取样冷却预处理系统进行冷却，使得抽取的药液能够维持在设定温度范围内进入pH值检测装置以及镍浓度检测装置，以实时反馈pH值和镍浓度值，电器控制单元能够根据反馈的pH值和镍浓度值实时控制计量泵向化学镀镍槽内泵入添加剂，以达到化学镀镍过程中药液消耗成分的及时补充。
声明：
“晶圆化学镍自动添加控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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