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半导体湿法化学液供给装置

678   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:06
一种半导体湿法化学液供给装置，包括第一储液桶、第二储液桶、进液管、第一电磁阀、电机、调速装置、转动杆、搅拌叶、抽液管、泵体、导液管、警报器、出液管、第二电磁阀、终端控制器和液位检测器，所述第一储液桶顶端左侧设置有进液管，进液管上设置有第一电磁阀，第一储液桶顶端右侧设置有抽液管，第一储液桶左侧设置有电机，第二储液桶内部的液位检测器可以对桶内的化学液进行检测，当化学液液体过少时，液位检测器可以将数值通过电性连接传输至终端控制器上，通过终端控制器可以控制泵体将第一储液桶内的化学液导入第二储液桶内部，以确保第二储液桶内的化学液保持在够用的状态，避免出现补给化学液时会影响正常生产的进展。
声明：
“半导体湿法化学液供给装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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