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用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法

811   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:05
本发明涉及半导体行业中SO2浓度的检测领域，公开一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法，包括：收集待检测气体，将收集后的待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器依据预定的检测策略进行多次检测，以获取多个气体浓度检测值；根据多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值。这里通过将待检测气体收集至收集袋中，并通过四电极电化学二氧化硫传感器对待检测气体的浓度进行检测，四电极电化学二氧化硫传感器检测精度高，并且为了进一步提高检测精度，这里依据设定的检测策略对待检测气体进行多次检测，并将获取的待检测气体的检测值经过一系列的计算得到最终的待检测气体浓度值。
声明：
“用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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