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用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测系统

694   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:04
本实用新型涉及半导体行业中SO2浓度的检测的领域，公开一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测系统，包括：用于收集取样点的待检测气体的收集袋；设置在收集袋内的四电极电化学二氧化硫传感器；用于对四电极电化学二氧化硫传感器采集到的气体浓度检测值进行处理的处理器。这里通过将待检测气体收集至收集袋中，并通过四电极电化学二氧化硫传感器对待检测气体的浓度进行检测，四电极电化学二氧化硫传感器检测精度高，并且为了进一步提高检测精度，这里对待检测气体进行多次检测，并将获取的待检测气体的检测值通过处理器经过一系列的计算。
声明：
“用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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