本申请公开了一种咪唑啉类缓蚀剂残余浓度的检测装置及其检测方法,属于化学分析技术领域。一种咪唑啉类缓蚀剂残余浓度的检测装置包括:箱体顶部具有第一安装口和第二安装口;吸光度检测模块安装在第一安装口;铁离子检测模块安装在第二安装口;过滤模块连接在箱体的外侧,其包括取样口、第一进液口和第一出液口,第一出液口与铁离子检测模块相连接,从取样口提取的液体用于注入吸光度检测模块;数控模块分别与吸光度检测模块和铁离子检测模块相连接,用于控制二者的工作状态。该检测装置体积小、重量轻,方便携带至检测现场使用,操作简便,对操作人员无特殊技能要求,同时其还具有检测精度高和检测速度快的特点。
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