本申请公开了一种样品制备方法、样品检测方法及样品检测系统。该样品制备方法包括:制备初级结构,初级结构包括待检测薄膜以及覆盖在待检测薄膜的双侧表面的保护层;在反应室中,采用反应物去除保护层,以获得待检测结构;以及将待检测结构从反应室转移至用于测试待检测结构的样品分析室,样品分析室中不包括与待检测结构发生化学反应的物质。该样品制备方法有利于提高样品质量,从而有利于样品测试。
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