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等离子体化学气相法批量生产氮化硅粉体转相工艺及系统

1032   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:32
等离子体化学气相法批量生产氮化硅粉体转相工艺及系统,该系统是在等离子体化学气相法生产无定型氮化硅粉体工艺的基础上增加一个连续转相热处理装置,所述装置主要由推料器、前密封箱、中温炉、高温炉、冷却带以及后密封箱组成,在该装置内装有可连续运动的多个盛粉容器,并以氨或氨与氮的混合气为保护气氛。采用本发明可连续、批量生产高α相氮化硅粉体;α相:95.5～97.5%;粒度分布特性:平均粒度D50=0.18μm～0.35μm,转相后产品中的氧含量小于0.2%,残留氯含量采用荧光X射线方法分析已经检测不到,从而有效提高了氮化硅粉体性能。
声明：
“等离子体化学气相法批量生产氮化硅粉体转相工艺及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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