合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法

化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法

674   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:31
本发明公开了一种化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法,该化学机械研磨装置包括:研磨平台;驱动装置,与所述研磨平台连接,用于驱动所述研磨平台旋转;传感器,与所述研磨平台连接,用于测量研磨平台的转速并将所述转速转换为转速信号;控制器,与所述传感器连接,用于接收传感器输出的转速信号并根据所述转速信号输出报警信号,以启动报警装置报警。所述传感器可测量所述研磨平台的实际转速,一旦所述研磨平台的转速出现异常,所述控制器可根据传感器输出的转速信号输出报警信号,操作人员即可知晓所述化学机械研磨机台出现故障并及时处理晶片,从而避免晶片报废。
声明：
“化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：评价化学工艺装置安全性的化学工艺优化方法
下一个：浅沟槽隔离工艺中化学机械研磨工艺窗口确定方法

与 “化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法” 相关技术

▪ 金属废渣破碎处理装置
▪ 机制砂的检测方法、系统、电子设备及存储介质
▪ 粉料螺旋振动提升装置
▪ 尾矿水沉降浓密机
▪ 硅孔雀石矿物的活化方法以及高碱性氧化铜矿或氧化铜钴矿的浮选方法
▪ 工业废水COD去除工艺
▪ 环保工程水处理超滤膜技术
▪ 钻机泥浆泵减压装置
▪ 挖掘机定速巡航控制装置及方法
▪ 挖掘机自动挖掘力测试系统及方法

相关化学分析设备推荐

热吸附分析仪
JBW系列冲击试验机
路博多气体检测仪MS6X路博
土壤水分记录仪
天鹰(ALTAIR) 5X多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏通用技术 北京矿山技术 江苏冶金技术 北京冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪金属废渣破碎处理装置
▪机制砂的检测方法、系统、电子设备及存储介质
▪粉料螺旋振动提升装置
▪尾矿水沉降浓密机
▪硅孔雀石矿物的活化方法以及高碱性氧化铜矿或氧化铜钴矿的浮选方法
▪工业废水COD去除工艺
▪环保工程水处理超滤膜技术
▪钻机泥浆泵减压装置
▪挖掘机定速巡航控制装置及方法
▪挖掘机自动挖掘力测试系统及方法

报名参会
更多+

2025有色金属智能工厂大会
2025有色金属智能工厂大会
2025年03月20日 ~ 22日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月21日 ~ 23日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月28日 ~ 30日
第二届全国高纯金属材料制备与应用技术交流会
第二届全国高纯金属材料制备与应用技术交流会
2025年04月11日 ~ 13日
能源材料大会
能源材料大会
2025年04月24日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:127
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:102
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:95
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:93
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:92
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:89
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:88
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:87
10 制样室装修设计技巧
下载:86
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记