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化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法

589   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:31
本发明公开了一种化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法,该化学机械研磨装置包括:研磨平台;驱动装置,与所述研磨平台连接,用于驱动所述研磨平台旋转;传感器,与所述研磨平台连接,用于测量研磨平台的转速并将所述转速转换为转速信号;控制器,与所述传感器连接,用于接收传感器输出的转速信号并根据所述转速信号输出报警信号,以启动报警装置报警。所述传感器可测量所述研磨平台的实际转速,一旦所述研磨平台的转速出现异常,所述控制器可根据传感器输出的转速信号输出报警信号,操作人员即可知晓所述化学机械研磨机台出现故障并及时处理晶片,从而避免晶片报废。
声明：
“化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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