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化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备

620   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:31
本发明提供了一种化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备,其安装方法包括步骤:将晶舟安装在基座上,且在所述晶舟一侧设置有投影板;在所述投影板设置参照物;第一光束照射所述晶舟,使所述晶舟投影到所述投影板上形成晶舟投影;沿所述基座的中心轴旋转所述基座,且上述晶舟和所述基座一起旋转,测量在旋转过程中所述晶舟投影与所述参照物之间的距离,当旋转过程中所述距离发生变化时,则调整所述晶舟在所述基座上的位置,从而使得安装时晶舟能位于反应腔室中心。
声明：
“化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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