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化学机械研磨测试设备

1054   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:33
本实用新型提供一种化学机械研磨测试设备,包括:吸附台,分布于所述吸附台上方的多个研磨头、多个分别对应于每个所述研磨头的研磨液供应管;所述研磨头上固定有研磨垫。本实用新型的化学机械研磨测试设备可在一片晶圆上进行多项不同研磨力度、不同研磨液种类或不同研磨液流速的化学机械研磨测试,因此有效节省了成本,同时节约了测试时间。
声明：
“化学机械研磨测试设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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