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化学气相沉积液体源材料的监测装置

775   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:32
本发明涉及一种化学气相沉积液体源材料的监测装置，所述的装置包括液体源瓶、托盘、重量传感器、截止阀、柔性金属软管、真空规。液体源瓶用于盛装化学气相沉积镀膜的反应源材料；液体源瓶放置在托盘上，托盘固定在重量传感器上。所述的重量传感器通过监测托盘和液体源瓶总重量的变化，实时监测液体源的剩余量；液体源瓶进出口安装自动截止阀，自动截止阀的另一端通过柔性金属软管和化学气相沉积镀膜系统连接；所述的真空规和柔性金属软管连接，用于监测柔性金属软管内的真空度。所述的化学气相沉积源材料监控装置，实现了化学反应液体源瓶内剩余材料的监控，可有效提高化学气相沉积源材料使用效率和安全性。
声明：
“化学气相沉积液体源材料的监测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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