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基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器

691   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:29
本发明公开了一种一种基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器，包括：外壳，为正六面体；橡胶膜，分别覆盖在所述外壳的各个表面，且分别与各面形成容纳空间；第一流道、第二流道、第三流道，为互相垂直且垂直贯穿所述外壳表面的流道；敏感电极，分别置于所述第一流道、第二流道和第三流道内；电解质溶液，分别充满于所述第一流道、第二流道和第三流道与各所述容纳空间形成的密封腔内。本发明采用了全新的结构设计，使其更精确保证了三个轴向间的正交性；并且不需要辅助结构，减小了检波器的体积和重量，同时可使得在相同体积的检波器中实现更长长度的流道，提升了检波器的低频性能。
声明：
“基于MEMS的三轴一体化电化学地震检波器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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