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利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器

562   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:17
一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器，适用于光纤传感。其特征在于：该传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅，它被均匀分成两部分，光纤布拉格光栅的左半部分（1）被氢氟酸溶液腐蚀直径变细，并在左半部分上镀上一层金属（2），光纤布拉格光栅的右半部分（3）保持不变。该传感器的制作步骤为：采用相位掩模板法制作光纤布拉格光栅；将布拉格光栅左半部分放入氢氟酸溶液中腐蚀；在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面吸附一层易氧化物质；在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面生成一层薄金属层；对腐蚀后的光纤布拉格光栅进行化学镀金属。该传感器结构简单，容易制作；温度和应力传感灵敏度得到了提升；可以实现双参数的同时测量。
声明：
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