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传感器设备和用于具有至少一个化学或电化学探测装置的传感器设备的制造方法

1022   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:17
本发明涉及一种所述传感器设备，所述传感器设备具有：衬底(10)以及在所述衬底(10)上和/或在所述衬底(10)中构造的至少一个化学或电化学探测装置(12)，其具有结构化到所述衬底(10)中的探测开口(14)并且如此构造，使得在所述探测开口(14)中至少一种待探测的材料的存在引起由所述探测装置(12)输出的或在所述探测装置(12)上量取的第一传感器信号的变化，其中，所述探测开口(12)包括穿过所述衬底(10)的第一侧(10a)结构化的入口(16)并且包括第一空腔(18)，所述入口(16)通到所述第一空腔中。此外，本发明涉及一种用于具有至少一个化学或电化学探测装置(12)的传感器设备的制造方法。
声明：
“传感器设备和用于具有至少一个化学或电化学探测装置的传感器设备的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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