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微波等离子体化学气相沉积装置和漏点检测方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：谐振腔；沉积台，设置于谐振腔内，包括基板以及为基板降温的冷却装置，该冷却装置包括冷却水回路，所述冷却水回路上设置有VCR接头。本申请还公开了一种极高真空的控制方法，包括：建立真空腔体的静态压升力曲线，其中，横坐标为时间，纵坐标为压力，并控制：曲线的起始点小于1.0×10‑11Pa；曲线切线斜率小于1.0×10‑8pa/min；真空腔体的总泄露率小于10‑8Pa.l/s。本发明可以有效的解决微波等离子体化学气相沉积装置的泄露，可以明显提供钻石生产的品质。
声明：
“微波等离子体化学气相沉积装置和漏点检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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