合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用

化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用

621   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
本发明提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连接各组件间的导线组成。其中，温度传感器的感温区域直接与被抛光工件的背面接触，传感器输出的弱信号经过信号处理模块处理后由导电滑环将其传输到信号接收装置，再由信号接收装置对信号进行采集、处理和显示等操作。当从被抛光工件的一层材料层上去除另外一种材料层时，可以根据抛光界面温度的变化情况判断抛光终点。将抛光界面温度和同一工艺参数下抛光界面的正常温度范围对比，可以判断加工过程是否正常。
声明：
“化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：光幕检测装置及电化学处理设备
下一个：液体中多种重金属离子的同时电化学检测

与 “化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用” 相关技术

▪ 干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪ 钨矿选矿筛分装置及方法
▪ 冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪ 圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪ 空间用多结太阳电池及其制备方法
▪ 用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪ 新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪ 大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪ 高效工业废气处理工艺
▪ 节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

相关化学分析设备推荐

土壤采样器/土壤采样仪/取土器/取土仪
激光氯化氢分析仪
土壤快速检测仪器 土壤测试仪
无线多点土壤墒情监测系统《全自动》
土壤养分测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪干选精矿选矿筛分装置及其筛分方法
▪钨矿选矿筛分装置及方法
▪冶金固废高附加值综合利用技术分析
▪圆锥破碎机进料斗的防尘布料装置
▪空间用多结太阳电池及其制备方法
▪用于固态电池的复合层合结构及其制备方法
▪新疆天山大型-超大型砂砾岩型铜铅锌矿床的成矿特征及研究进展
▪大面积钙钛矿太阳能电池的连续制备生产线及方法
▪高效工业废气处理工艺
▪节能高效的高浓度有机废气处理系统及方法

报名参会
更多+

全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月13日 ~ 15日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:121
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:97
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:91
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:83
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:83
10 制样室装修设计技巧
下载:81
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记