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检测SiGe材料在电化学沉积过程中带隙变化的方法

671   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:36:27
本发明提供一种检测SiGe材料在电化学沉积过程中带隙变化的方法，属于SiGe电沉积制备方法领域。该方法利用原位光谱电化学技术，观察沉积过程中SiGe材料吸收光谱的变化，分析沉积过程及SiGe带隙变化；本发明利用离子液体电沉积技术与原位光谱电化学法的结合，使用无毒无污染的绿色离子液体[EMIm]Tf2N+GeCl4+SiCl4做为电解液，调控电化学沉积步骤及吸收光谱测量，原位表征SiGe在离子液体中的电沉积过程，本方法利用了半导体能够强烈的吸收光能，通过吸收光谱的变化可以反映出电化学沉积过程进行的快慢、沉积过程中带隙的变化。该检测方法工艺简单，操作方便，易于实现。
声明：
“检测SiGe材料在电化学沉积过程中带隙变化的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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