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一种月尘测量仪粘性石英晶体探头涂膜方法

676   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:32:25
本发明公开了一种月尘测量仪粘性石英晶体(SQCM)探头涂膜方法。使用本发明能够在石英晶体上涂覆真空油脂，且涂膜后形成的粘性石英晶体能够用于月尘测量。本发明首先采用石油醚对石英晶体进行清洗，并挑选频率在9990000Hz～9995000Hz内的石英晶体进行涂膜；采用Apiezion?H脂作为粘性石英晶体的覆膜进行涂膜，并在涂膜过程中监测石英晶体的频率，当涂抹前后的石英晶体的频差为2MHz左右，涂膜完成，检测石英晶体的Q值、谐振阻抗和动态电容，若满足技术指标，则该石英晶体可以用于粘性石英晶体探头上。
声明：
“一种月尘测量仪粘性石英晶体探头涂膜方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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