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一种镍钛合金靶坯及其制备方法

1174   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:31:27
本发明涉及一种镍钛合金靶坯及其制备方法，所述制备方法包括对镍钛合金铸锭依次进行锻造、一次退火、轧制、二次退火与机加工，得到的镍钛合金靶坯具有内部结构均匀，内部无缺陷，晶粒细小等优点，晶粒大小一般≤100μm，最优时≤50μm，将成品率提高至90％以上，符合半导体领域镍钛合金靶材的使用标准。
声明：
“一种镍钛合金靶坯及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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