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研磨装置

643   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:31:25
本发明提供一种无论工件的材质和杂质浓度等如何也能够适当地实施工件形状的测量的研磨装置。该研磨装置(1)使工件(W)与下定盘(11)及上定盘(12)相对旋转并且由安装在上下定盘(11、12)上的研磨垫(11a，12a)研磨工件(W)，其包括对工件(W)进行研磨的研磨机主体(10)和在工件(W)上照射测量光(X)并基于该测量光在工件(W)上反射而获得的第一反射光(Y)、第二反射光(Z)来测量工件(W)的形状的形状测量装置(20)。形状测量装置(20)具有射出测量光(X)的激光光源(21)和基于工件(W)的电阻率来控制作为照射工件(W)之前的测量光(X)的照射光(X′)的光量的光强度控制部(24)。
声明：
“研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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