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基于偏振光散射法检测工件表面综合性能参数的装置

749   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:30:38
基于偏振光散射法检测工件表面综合性能参数的装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有加工工件表面性能检测装置只能检测单一特征参数，不能准确、快速、简便地检测综合性能参数的问题。本实用新型激光入射至分光镜分光，水平激光通过扩束器、起偏器和反光镜入射至工件表面，反射后入射至电荷耦合阵列检测器；垂直激光通过扩束器、起偏器和分光镜分为水平激光和垂直激光；水平激光通过透镜入射至电荷耦合阵列检测器；垂直激光通过偏振分光镜分为水平S光和垂直P光；水平S光通过反光镜和透镜入射至工件表面，反射后入射至光电二极管阵列；垂直P光通过透镜入射至工件表面，反射后入射至光电二极管阵列。用于检测加工工件表面综合特征参数。
声明：
“基于偏振光散射法检测工件表面综合性能参数的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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