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晶圆级微透镜阵列的测试结构及其测试装置

923   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:30:36
本实用新型提供一种晶圆级微透镜阵列的测试结构及其测试装置，测试结构包括：晶圆放置组件和透光组件；晶圆放置组件包括外支撑环以及镂空区域，用于放置形成有微透镜阵列单元的待测晶圆，外支撑环边缘具有缺口且包含限位边界和放置台阶；透光组件，位于晶圆放置组件的一侧表面，正对镂空区域设置，边缘固定于外支撑环。测试结构用于将待测晶圆放置于镂空区域，光源透过透光层产生具有测试图形光场，检测待测晶圆上微透镜的解析力和漏光等性能。测试装置通过测试结构进行微透镜性能检测，将拍摄到的待测晶圆的测试图像与标准图像比较，获得测试结果，并根据测试结果输出测试图谱，定位有缺陷的微透镜阵列单元的位置。
声明：
“晶圆级微透镜阵列的测试结构及其测试装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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