本发明涉及红外技术领域,更具体涉及一种对称分布式空腔阵列及其制备方法,应用于红外热像设备性能检测领域。按照本发明提供的技术方案,对称分布式空腔阵列制备方法包括如下步骤:制作金属构件作为空腔阵列的基底;在基底的上端面开槽,加工形成特定深度宽度比的矩形槽和矩形翅,同尺寸矩形槽和矩形翅组成单元,单元对称分布并组成空腔阵列;对空腔阵列做表面处理,用金属涂层覆盖表面包括矩形槽内表面。采用该方法制备的对称分布式空腔阵列能够提供连续可调温差,由于空腔阵列中不同单元的发射率呈阶梯分布,因此形成的温度差可调范围宽,空腔阵列中单元对称分布使得温度场更加稳定。
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